图书介绍

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电子束扫描成象及微区分析
  • 张铭诚等编著 著
  • 出版社： 北京：原子能出版社
  • ISBN：15175·821
  • 出版时间：1987
  • 标注页数：544页
  • 文件大小：37MB
  • 文件页数：561页
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图书目录

导论1

一、扫描电镜和电子探针发展历史的回顾1

前言5

二、发展前景5

三、本书主题及概要5

序言6

第一章 电子与样品的相互作用12

一、电子散射12

二、电子作用区的物理模型18

三、Bethe作用区和最大作用区19

四、背散射电子23

五、二次电子28

六、电子与薄膜样品的相互作用32

七、俄歇电子和阴极荧光36

一、电子束品质与图象分辨率42

第二章 缩小系统电子光学42

二、磁透镜的光学特性44

三、磁透镜的象差47

四、球差和色差对束斑和束流的影响52

五、电子束直径的计算55

六、电子束极限直径57

七、磁透镜的发展58

一、镜简尺寸的选择61

第三章 仪器的设计与操作61

二、电子枪62

三、物镜71

四、光学元件的合轴73

五、扫描器74

六、扫描器位置的选择77

七、图象显示与畸变78

八、新的扫描显示技术80

九、景深83

一、样品室和样品台86

第四章 样品室与真空系统86

二、光学显微镜90

三、真空系统及污染控制94

四、电子束的稳定性及影响因素99

第五章 图象信号的检测108

一、散射电子对精细形貌检测的影响108

二、背散射电子的检测112

三、低损耗电子的检测123

四、二次电子的检测129

五、样品电流信号的检测138

六、阴极荧光的检测139

第六章 图象的信号噪声比(SNR)148

一、图象的品质因素148

二、成象束流的计算153

三、检测系统的噪声157

四、保证各类图象品质的束流的计算162

第七章 图象信号的处理167

一、黑电平抑制168

二、非线性放大169

三、图象信号的微分处理175

四、图象信号的模数-数模转换177

五、信号的Y调制处理179

六、成分与形貌信息的分离181

七、自动聚焦选择最佳图象信号182

第八章 对比度机理193

一、原子序数对比度193

二、形貌对比度197

三、电压对比度199

四、磁对比度207

五、电子束感生电流(EBIC)对比度210

六、阴极荧光图象对比度210

第九章 对比度与分辨率218

一、获取高分辨率的措施218

二、对比度与分辨率220

三、导电样品的二次电子图象226

四、绝缘样品的二次电子图象230

五、发光图象231

第十章 散射电子与样品电流图象241

一、普通背散射电子图象241

二、导电样品的低损耗电子图象245

三、导电样品的样品电流图象249

第十一章 电子普通花样258

一、电子通道花样对比度机理258

二、电子通道花样263

三、通道花样的电子光学条件265

四、信号的收集与处理267

五、选区通道花样268

六、多晶体的通道对比度271

第十二章 X射线检测279

一、X射线检测原理279

二、探测器特性280

三、探测器性能的比较285

四、正比计数器286

五、闪烁计数器293

六、计数系统294

七、X射线图象300

第十三章 X射线光谱谱仪305

一、布拉格定律与聚焦几何学305

二、分光晶体310

三、谱仪设计概要318

四、可变曲率聚焦谱仪321

五、直进式谱仪323

六、光栅谱仪327

第十四章 探针定量分析校正理论338

一、非线性因素339

二、阻止本领校正342

三、背散射校正348

四、吸收校正355

五、荧光校正363

六、校正计算程序370

一、X射线能谱谱仪(EDS)376

第十五章 X射线能谱法(EDX)微区定性分析376

二、能谱分析中的各种虚假因素385

三、X射线能谱法(EDX)微区定性分析398

第十六章 X射线能谱法(EDX)微区定量分析404

一、背景校正404

二、重叠校正407

三、X射线能谱定量分析的典型程序410

四、相对K比值法的应用414

五、人发微区硫和氯的定量分析实例417

六、EDX与WDX检测极限的对比421

第十七章 轻元素、超轻元素的分析431

一、概论431

二、校正计算434

三、碳的污染446

第十八章 薄膜分析453

一、概论453

二、薄膜定量分析455

三、薄膜厚度的测量465

第十九章 制样478

一、常用制样技术478

二、固体样品(岩石、金属、颗粒物等)制样489

三、生物样品制样492

第二十章 应用507

一、金属学中的应用507

二、材料学中的应用509

三、地质和矿物学中的应用510

四、月岩研究513

五、机械学中的应用514

六、微电子学中的应用516

七、晶体结构学中的应用518

八、动态试验中的应用520

九、造纸工艺上的应用521

十、法学鉴别中的应用522

十一、生物学及医学中的应用524

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